①大尺度法。經過增大單體LED的有用發光面積和尺度,促進流經TCL層的電流均勻分布,http://m.fssuifeng.cn 以到達預期的光通量。但是,簡單地增大發光面積無法處理散熱疑問和出光疑問,并不能到達預期的光通量和實踐使用作用。
②矽底板倒裝法。首要制備出適合共晶焊接的大尺度LED芯片,同時制備出相應尺度的矽底板,并在矽底板上制作出供共晶焊接用的金導電層及引出導電層(超聲金絲球焊點),再使用共晶焊接設備將大尺度LED芯片與矽底板焊接在一起。這樣的布局較為合理,既思考了出光疑問又思考到了散熱疑問,這是當前干流的大功率LED的生產方式。
美國Lumileds公司于2001年研發出了AlGaInN功率型倒裝芯片(FCLED)布局,其制作流程是:首要在外延片頂部的P型GaN上淀積厚度大于500A的NiAu層,用于歐姆觸摸和背反射;再選用掩模選擇刻蝕掉P型層和多量子阱有源層,顯露N型層;經淀積、刻蝕構成N型歐姆觸摸層,芯片尺度為1mm×1mm,P型歐姆觸摸為正方形,N型歐姆觸摸以梳狀刺進其間,這樣可縮短電流拓展間隔,把拓展電阻降至最小;然后將金屬化凸點的AlGaInN芯片倒裝焊接在具有防靜電保護二極管(ESD)的矽載體上。
③陶瓷底板倒裝法。先使用LED芯片通用設備制備出具有適合共晶焊接電極布局的大出光面積的LED芯片和相應的陶瓷底板,并在陶瓷底板上制作出共晶焊接導電層及引出導電層,然后使用共晶焊接設備將大尺度LED芯片與陶瓷底板焊接在一起。這樣的布局既思考了出光疑問也思考到了散熱疑問,而且選用的陶瓷底板為高導熱陶瓷板,散熱作用十分理想,報價又相對較低,所認為當前較為適宜的底板資料,并可為將來的積體電路一體化封裝預留空間。
④藍寶石襯底過渡法。依照傳統的InGaN芯片制作辦法在藍寶石襯底上生長出PN結后,將藍寶石襯底切除,再銜接上傳統的四元資料,制作出上下電極布局的大尺度藍光LED芯片。
⑤AlGaInN碳化矽(SiC)反面出光法。美國Cree公司是全球僅有選用SiC襯底制作AlGaInN超高亮度LED的廠家,幾年來其生產的AlGaInN/SiCa芯片布局不斷改進,亮度不斷提高。因為P型和N型電極別離坐落芯片的底部和頂部,選用單引線鍵合,相容性較好,使用方便,因此變成AlGaInNLED開展的另一干流產品。斯諾光電:http://m.fssuifeng.cn